Растровый электронный микроскоп Merlin Compact

merlin_01.png

Растровый электронный микроскоп Merlin Compact может работать как в режиме высокого, так и в режиме переменного вакуума, давая изображение проводящих и непроводящих образцов с высоким разрешением (от 0,6 нм). Сверхстабильный автоэмиссионный катод, обеспечивает максимальный ток зонда до 300 нА. Конструкция колонны GEMINI II обеспечивает превосходное изображение и стабильность даже при низком напряжении и при высоком токе зонда.

Тройная система детектирования:

  • встроенный в линзовую систему детектор вторичных электронов (In-lens SE) для определения топографии поверхности;

  • встроенный в колонну детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по энергии выхода (EsB) для определения композиционного контраста;

  • детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по углу выхода (AsB) с креплением на объективную линзу для определения ориентация кристаллов.

Система детектирования позволяет получать полную информацию о материале, топографии и кристалличности образца.

Камера образца поставляется с 15 портами для опционных детекторов и ряда других аналитических приложений от съемки до полного анализа.

Система локальной компенсации заряда – полностью автоматизированная система снятия заряда с поверхности ионами азота. Позволяет обойтись без использования специальных низковакуумных детекторов и режимов.

Очистка поверхности с помощью ионов кислорода.

Дополнительные возможности:

  • опционный программный модуль Shuttle & Find позволяет наладить совместную работу электронного и оптического микроскопов. Благодаря полуавтоматической калибровке системы координат можно получить контрастное оптическое изображение, настроить электронный микроскоп на ту же область и использовать его аналитические возможности

Характеристики:

Модель

MERLIN Compact

Катод

Катод Шотки с термополевой эмиссией, стабильность более 0,2%/час

Тип колонны

GEMINI® I

Разрешение, нм

0.8 при 15 кВ
1.6 при 1 кВ
0.8 при 30 кВ (в режиме STEM)

Ускоряющее напряжение

0,02-30 кВ

Ток зонда

5 пА - 100 нА (в зависимости от конфигурации системы)

Рабочий вакуум
• режим высокого вакуума


• режим переменного вакуума (VP)

Наличие


Нет

Детекторы:

Стандартные

Высокоэффективный встроенный в колонну детектор вторичных электронов;
Стандартный детектор вторичных электронов Эвернхарта-Торнли

Опционные

Встроенный Duo (вместо стандартного – для получения изображения во вторичных и отраженных электронах)
AsB детектор селекции обратно рассеянных электронов по углу
STEM детектор проходящих электронов
4QBSD – детектор обратно рассеянных электронов 4х секториальный
Возможна установка других детекторов

Рабочая камера

Диаметр 330 мм, высота 270 мм
15 портов для подсоединения различных опций, включая STEM, 4QBSD, EBSD (детектор дифракции обратно рассеянных электронов), EDS, WDS.
CCD-камера с ИК-подсветкой.

Столик для образца

Эуцентрический, моторизованный, X = 130 мм, Y = 130 мм, Z = 50 мм, наклон -3 - 70º, вращение 360º
Доступны опционные системы позиционирования

Графика

Разрешение не хуже 32768 x 24576 пикселей
Большое количество накоплений и режим усреднения


 

Растровый электронный микроскоп Merlin Compact расположен на территории Института гидродинамики имени М.А. Лаврентьева СО РАН.