Растровый электронный микроскоп Zeuss EVO MA15 с энергодисперсионным спектрометром Oxford Instruments X-Max 80 мм2

rastr_01.png

Общее описание: 

Растровый электронный микроскоп Zeuss EVO MA15 с энергодисперсионным спектрометром Oxford Instruments X-Max 80 мм2 предназначен для исследования поверхности с разрешением до 3 нм и большой глубиной резкости, количественного определения элементного состава материалов и покрытий, диагностики фазового состава (фазовый контраст), диагностики непроводящих и легкоразрушаемых образцов в режимах с низким ускоряющим напряжением. 

Основные параметры: 

Параметр

Единицы измерения, интервал

Разрешение

до 3 нм

Ускоряющее напряжение

0,2 – 30 кВ

Моторизация предметного столика

5-осевая

Высота образца

до 145 мм

Размер изображения

до 3072 × 2304 точек

Гарантирована стабильность пика

< 1 эВ

Диагностируемые элементы

качественно: от Be; количественно: от B

Наклон образца

0 – 90°

Вращение образца

360°

Детекторы

SE, BS, EDS

Типовые виды испытаний и работ: 

Виды испытания

Измеряемый параметр, метод измерения

Получение фотографий микро- и нанорельефа

Получение микро- и нанофотографий с фазовым контрастом

Количественное определение фазового состава

в точке и по все площади поля (кадра)

Картирование по элементам и «фазам»

 

Растровый электронный микроскоп Zeuss EVO MA15 расположен на территории Института теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича СО РАН.