Напылитель для электронного микроскопа Q150T ES

q150t_01.png

Общее описание:

 Напылитель предназначен для нанесения проводящих нанопокрытий на диэлектрические образцы с сохранением топографии поверхности для высококачественной диагностики методами растровой электронной микроскопии, очистки поверхности и травления образцов для растровой и просвечивающей электронной микроскопии.

Основные параметры: 

Параметр

Единицы измерения, интервал

Диаметр камеры

165 мм

Быстросъемная мишень, диаметр

57 мм

Минимальная толщина покрытия

5 нм

Материалы покрытий

золото, серебро, медь, углерод, хром, молибден и др.

Длительность распыления

до 60 мин.

Режимы распыления

непрерывный и импульсный

Быстросъемная камера с сохранением вакуума

Высоковакуумный турбомолекулярный насос

Сенсорный экран

Встроенные и пользовательские автоматические программы


 Типовые виды испытаний и работ: 

Виды испытания

Измеряемый параметр, метод измерения

Шероховатость

Ra, Rq, Rz и др., Sa, Sq, Sz и др., мкм

Объем

мм3

Размеры

нм, мкм, мм