Бесконтактный оптический интерференционный профилометр ContourGT-K1 Stitching System

ContourGT_01.png

Общее описание:

 Бесконтактный оптический интерференционный профилометр ContourGT-K1 Stitching System предназначен для высокоточного построения трехмерной картины поверхности неразрушающим оптическим методом, измерения широкого ряда количественных и геометрических параметров поверхности для металлов, керамики и прозрачных материалов, диагностики тонких пленок и литографии.

Основные параметры:

 

Параметр

Единицы измерения, интервал

Разрешение по высоте

до 0,1 нм

Разрешение в латеральной плоскости

до 0,1 мкм

Ход по высоте

10 мм

Ход в латеральной плоскости

150 × 150 мм

Увеличение

2,75–100х

Спектры

«белый» и зеленый

Максимальная масса образца

4,5 кг

Экспорт данных в текстовых форматах

 

Типовые виды испытаний и работ:

 

Виды испытания

Измеряемый параметр, метод измерения

Шероховатость

Ra, Rq, Rz и др., Sa, Sq, Sz и др., мкм

Размеры

нм, мкм, мм

Площадь

мм2

Объем

мм3

Бесконтактный оптический интерференционный профилометр ContourGT-K1 Stitching System расположен на территории Института теоретической и прикладной механики им. С.А. Христиановича СО РАН.